工件感应淬火后通常要进行低温回火，目的就是在硬度基本不变的条件下减小残余内应力、降低淬火钢的脆性，提高韧性，增加尺寸稳定性。在生产中可分别进行炉中回火、自回火（即利用感应淬火冷却后淬火层内层的余热，使工件表面温度会升至一定数值，实现的短时间回火）和感应加热回火。
炉中回火温度通常为150℃-180℃、保温事件1-2h。
自回火的特点是节约能源，简化工艺，并可防止高碳钢及高合金钢淬火时开裂，但工艺不易掌控，消除应力的效果不如炉中回火。
而感应加热回火可紧接着感应淬火后连续通过回火感应器进行回火加热，为降低淬火件过渡层中残余拉应力，回火感应加热层比淬火层深才能但到回火目的。感应加热回火应采用很低的电源频率火很小的比功率，延长加热回火时间，应用热传导使回火加热层增厚。当采用同时加热法时，可用断续加热法是加热层深度增加。感应加热回火法重要的特征也是回火时间短，要达到相同硬度及其它性能指标时，回火温度较高。试验表明，感应加热回火，由于加热时间短，回火厚的男模性比炉中回火高，冲击韧度也较大
